在大规模生产环境中,达到所需真空水平所需的抽空时间是至关重要的。在高生产率下,测试时间被大幅压缩,使得大泄漏成为主要关注点。氦气充气测试仪器通常需要几分钟时间来降低氦气浓度至可重新测试的水平。为尽量减少大泄漏的影响,可以实施以下措施:
逐步增压:逐步达到全测试压力,以避免瞬时高压影响检测仪器。在氦气测试前,使用非氦气体冲洗质谱仪或采用空气衰减技术进行预筛选,以排除已知的大泄漏。
高速测试优化是成功的关键,因为它要求将测试时间减少到最短。
减少测试体积:通过填充空隙和确保最小的管道运行体积来最小化体积。
氮气冲洗:使用氮气冲洗测试区域,加速氦气的去除。
自动化处理和连接:在高速生产中起着至关重要的作用,确保产品能够快速、准确地进出测试区域。
对于氦气密封和管道设计,用于创建测试体积和供应氦气的工具和管道必须具有超过泄漏测试阈值的密封水平。
这需要对密封进行精心设计,特别是在两个垂直表面的直角密封等复杂情况下。此外,必须使用氦气密封阀和管道,特别注意真空管道尺寸,以确保整个系统的密封性。
氦气可以从一个设备中抽取并推入下一个设备,从而在单个测试周期内实现再利用。对于较小的体积,这通常可以通过真空泵和简单的气缸组合来实现。质谱仪或其他传感器可以在周期之间监测氦气浓度,如果氦气浓度低于可接受水平,则应更换氦气。