如何降低真空系统的漏气率

    真空系统的结构是影响其密封性和漏率的关键因素，结构的合理性直接关系到系统的密封性能和漏率。

    1.尽量避免小半径死角，通过仔细研磨、抛光和清洁，确保过渡平滑。

    2.对排气管道、供气管道等与真空室的连接处采用圆弧过渡，以确保气流顺畅，同时考虑清洁的便利性。

    3.仔细设计真空室内各种接头的结构，确保气流顺畅，防止堵塞。

    4.将真空系统的内表面抛光至高光泽，因为更亮的表面不易吸附气体，有助于实现真空。

    5.尽量减小真空室的体积，缩短管道系统的长度。

    密封形式的选择：

    密封形式的选择取决于所需的真空度水平和具体的操作需求。

    水冷条件下的密封区域通常达到约80°C，部分部位甚至超过100°C。因此，必须选择理想的密封材料。

    用于真空密封的橡胶材料必须表面光滑，无划痕或裂纹。此外，它们应具有低渗透性和出气率，优异的耐热性和耐油性，以及足够的强度、硬度和弹性。